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〖MEMS微结构晶圆级全自动测试系统〗

 

MEMS微结构晶圆级全自动测试系统是基于AI算法驱动的一种测试系统。

 

一体化:可完成MEMS加速度计、陀螺等电容式微结构的晶圆级全自动测试;

 

静态参数:漏电流、基础电容、电容变化量;

 

动态参数:谐振频率、带宽、品质因子Q值(3dB和时间衰减发);

 

操作便捷、宽量程、易于拓展批量生产测试;

 

具备数据批量分析与map云图功能,异常测试数据预警。

 

参数设置界面

 

map云图

 

MEMS加速度计测试软件流程图

 

MEMS陀螺仪测试软件流程图

 

谐振频率

 

品质因子Q值